구상 결정질 실리카 입자, 및 그 제조 방법

(과제) 밀리미터파 대역에 있어서 우수한 유전 특성을 갖는 반도체 밀봉재용의 필러 용도로서 적합한 구상 실리카 입자, 즉 알칼리 금속 및 알칼리 토류 금속의 함유량을 낮게 억제하면서, 높은 결정화율로, 또한 석영의 비율이 높은, 구상 결정질 실리카 입자, 및 그 제조 방법을 제공하는 것. (해결 수단) 원형도가 0.80 이상이며, 리튬을 산화물 환산으로 0.02질량％ 이상 0.40질량％ 미만 함유하고, 칼슘을 산화물 환산으로 0.004질량％ 이상 1.0질량％ 미만 함유하고, 결정질 실리카의 상을 포함하여 이루어지는, 구상 결정질 실리카 입자이며, 당해 구상 결정질 실리카 입자에 있어서의 상기 결정질 실리카의 상의 비율이 40.0％ 이상이고, 또한 상기 결정질 실리카의 상에서 차지하는 석영의 비율이 80.0질량％ 이상인 구상 결정질 실리카 입자. (Problem) To provide: spherical silica particles which are suitable for use as a filler for a semiconductor sealing material having excellent dielectric properties in the millimeter wave band, i.e., spherical crystalline silica particles which are reduced in the contents of an alkali metal and an alkaline earth metal to lower levels and have a high crystallization rate and a high quartz content; and a method for producing the spherical crystalline silica particles. (Solution) Provided are spherical crystalline silica particles each having a degree of circularity of 0.80 or more, containing lithium in an amount of 0.02% by mass or more and less than 0.40% by mass in terms of oxide content, also containing calcium in an amount of 0.004% by mass or more and less than 1.0% by mass in terms of oxide content, and also containing a crystalline silica phase, in which the content ratio of the crystalline silica phase in the spherical crystalline silica particles is 40.0% or more, and the content ratio of quarts in the crystalline silica phase is 80.0% by mass or more.