진공 챔버의 청정도를 모니터링하기 위한 청정도 모니터 및 방법

청정도 모니터, 평가 시스템 및 방법이다. 청정도 모니터는: 제1 진공 챔버, 제2 진공 챔버, 분자 수집기, 방출 유닛, 질량 분광계, 분자 수집기를 제1 위치로부터 제2 위치로 이동시키도록 구성될 수 있는 조작기, 및 분석기를 포함할 수 있다. 질량 분광계는 제2 진공 챔버의 내측 공간으로의 가시선을 가질 수 있다. 질량 분광계는 제2 진공 챔버의 내측 공간을 모니터링하고 제2 진공 챔버의 내측 공간의 함량을 나타내는 검출 신호들을 생성하도록 구성될 수 있다. 검출 신호들의 제1 하위 세트는 방출된 유기 분자들의 적어도 하위 세트의 존재를 나타낼 수 있다. 분석기는, 검출 신호들에 기초하여, (a) 제1 진공 챔버, 및 (b) 시험된 진공 챔버 중 적어도 하나의 챔버의 청정도를 결정하도록 구성될 수 있다. 시험된 진공 챔버는 제1 진공 챔버에 유체적으로 결합된다. A cleanliness monitor, an evaluation system and a method. The cleanliness monitor may include: a first vacuum chamber, a second vacuum chamber, a molecule collector, a release unit, a mass spectrometer, a manipulator that may be configured to move the molecule collector from the first position to the second position, and an analyzer. The mass spectrometer may have a line of sight to an inner space of the second vacuum chamber. The mass spectrometer may be configured to monitor the inner space of the second vacuum chamber and to generate detection signals that are indicative of a content of the inner space of the second vacuum chamber. A first subset of the detection signals may be indicative of a presence of the at least subset of released organic molecules. The analyzer may be configured to determine, based on the detection signals, the cleanliness of at least one out of (a) the first vacuum chamber, and (b) a tested vacuum chamber. The tested vacuum chamber is fluidly coupled to the first vacuum chamber.