LIFT PIN ASSEMBLY FOR A PLASMA PROCESSING APPARATUS

Provided is a lift pin assembly for a lift pin of a plasma processing apparatus. The lift pin assembly is provided with a pin housing that forms an opening from which a lift pin extends. The pin housing is located to be arranged with an opening formed by an electrostatic chuck. The assembly is provided with a pin height adjustment member partially located in the opening formed by the pin housing. The pin height adjustment member is movable along an axis in a first direction and a second direction for moving the lift pin into or out of the opening formed by the electrostatic chuck. The assembly is provided with a pin holder assembly at least partially located in an opening formed by the pin height adjustment member. The pin holder assembly is configured to maintain a lift pin to be arranged with the opening formed by the electrostatic chuck. 플라즈마 처리 장치의 리프트 핀용 리프트 핀 조립체가 제공된다. 상기 리프트 인 조립체는 리프트 핀이 연장되는 개구를 형성하는 핀 하우징을 구비한다. 상기 핀 하우징은 개구가 정전 척에 의해 형성된 개구와 정렬되도록 위치된다. 상기 조립체는 핀 하우징에 의해 형성된 개구 내에 부분적으로 위치된 핀 높이 조정 부재를 구비한다. 상기 핀 높이 조정 부재는 리프트 핀을 정전 척에 의해 형성된 개구 내외로 이동시키기 위해 제1 방향 및 제2 방향으로 축을 따라 이동가능하다. 상기 조립체는 핀 높이 조정 부재에 의해 형성된 개구 내에 적어도 부분적으로 위치된 핀 홀더 조립체를 구비한다. 상기 핀 홀더 조립체는 리프트 핀이 정전 척에 의해 형성된 개구와 정렬되도록 리프트 핀을 유지하도록 구성된다.