METHOD FOR FAST LOADING SUBSTRATES IN A FLAT PANEL TOOL

본 개시내용은 일반적으로 기판들을 로딩, 처리 및 언로딩하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다. 처리 시스템은 포토리소그래피 시스템에 결합된 로드/언로드 시스템을 포함한다. 로드/언로드 시스템은 제1 높이 및 제1 폭을 갖는 제1 세트의 트랙들, 및 제1 높이 및 제1 폭과는 다른 제2 높이 및 제2 폭을 갖는 제2 세트의 트랙들을 포함한다. 미처리 기판이 제1 트레이 상에서 제1 세트의 트랙들을 따라 리프트 핀 로더로부터 척으로 이송되는 한편, 처리된 기판은 제2 트레이 상에서 제2 세트의 트랙들을 따라 척으로부터 리프트 핀 로더...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	FUNG PRESTON, JOHNSTON BENJAMIN M, SCREWS SEAN, LEE CHEUK MING, YOO JAE MYUNG
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY DEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH ISMODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THEDEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY,COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g.SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY FREQUENCY-CHANGING HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR NON-LINEAR OPTICS OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS OPTICAL LOGIC ELEMENTS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF
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