전자 광학 변환기 컴포넌트를 생산하기 위한 스페이서 웨이퍼, 스페이서, 그러한 스페이서 웨이퍼를 생산하기 위한 방법, 및 그러한 스페이서를 포함하는 전자 광학 변환기 컴포넌트

발명은 스페이서 웨이퍼(1)로부터 섹션들(4)을 절단함으로써 전자 광학 변환기들(3)의 하우징용 스페이서들(2)을 생산하기 위한 스페이서 웨이퍼(1)를 제공한다. 스페이서 웨이퍼(1)는 서로 분리되고 격자에 분포되는 다수의 개구부들(5)을 갖는 투명 유리 플레이트(10)를 포함하여, 싱귤레이팅된 스페이서들(2)이 개구부들(5) 사이의 분리 라인들(7)을 따라 유리 플레이트(10)의 섹션들(4)을 절단함으로써 획득가능하고, 개구부들(5)은 조도를 갖는 미세구조(9)를 가진 측벽들(50)을 갖고, 조도의 평균 조도 값(Ra)은 500 ㎛의 측정 거리에서 0.5 ㎛ 미만이다. A spacer wafer for producing spacers of electro-optical converter housings is provided. The spacer wafer is a transparent glass plate having a multiplicity of openings separated from one another and distributed in a grid so that singulated spacers are obtainable by severing sections of the glass plate along separating lines between the openings. The openings have side walls with microstructuring that has a roughness with an average roughness value Ra of less than 0.5 μm with a measurement distance of 500 μm.