분산 제어 시스템 및 이를 구비한 반도체 검사 장치

통신 마스터국과, 통신 슬레이브국과, 상기 통신 마스터국과 상기 통신 슬레이브국의 통신 경로를 복수 가진, 트리 형상의 네트워크 혹은 데이지 체인 형상의 네트워크를 구비하는 분산 제어 시스템이며, 상기 통신 마스터국과 상기 통신 슬레이브국은, 데이터가 전송되는 시간 간격인 전송 주기를 제어하는 스케줄링부를 갖고, 상기 스케줄링부는, 복수의 상기 데이터 중에서, 가장 빠른 상기 전송 주기를 기준 주기로서 정하고, 상기 기준 주기가 경과할 때마다 그 횟수를 카운트하고, 상기 횟수의 값을 상기 기준 주기에 주기 번호로서 부여하고, 상기 주기 번호가 임의의 번호에 도달했을 때에, 상기 횟수를 초기 값으로 되돌리는 것을 전송 제어의 1주로 해서 상기 전송 제어를 반복하여 실행하는 것이고, 상기 스케줄링부는, 상기 데이터에 대응하는 제 1 정보에 의거하여, 상기 데이터가, 어느 상기 주기 번호에 대응한 상기 기준 주기의 타이밍으로 전송되는지를 정의한다. A distributed control system includes a tree topology network or a daisy-chain network including a communication parent station, communication child stations, and a plurality of communication paths among the communication parent station and the communication child stations, in which the communication parent station and the communication child stations include a scheduling unit that controls a transfer cycle that is temporal intervals of data transfer. The scheduling unit sets the transfer cycle that is the fastest out of a plurality of the data as a reference cycle, counts the number of times each time the reference cycle elapses, and imparts a value of the number of times to the reference cycle as a cycle number. When the cycle number reaches an optional number, the number of times is returned to an initial value, which makes one cycle of transfer control, and the transfer control is repeatedly executed. For the timing of the reference cycle at which the data is transferred, the scheduling unit defines a cycle number to which the reference cycle corresponds, on the basis of first information corresponding to the data.