METHOD FOR MANUFACTURING CAPACITIVE HUMIDITY SENSOR AND CAPACITIVE HUMIDITY SENSOR MANUFACTURED THEREBY

The present invention relates to a method for manufacturing a capacitive humidity sensor and a capacitive humidity sensor manufactured thereby. The method comprises the steps of: (a) preparing a bimodal ink including moisture-sensitive ceramic particles having a bimodal particle size distribution; and (b) inkjet-printing the bimodal ink to form a moisture-sensitive layer. By manufacturing the moisture-sensitive layer through inkjet printing using the bimodal ink including the moisture-sensitive ceramic particles having the bimodal particle size distribution, fine particles are introduced into pores formed by coarse particles so that the surface area of the moisture-sensitive layer can be maximized. As a result, the capacitive humidity sensor, having characteristics such as significantly improved sensitivity, excellent repeatability and linearity over a wide relative humidity range, low hysteresis, reasonable response and recovery time, and long-term stability, compared to an existing capacitive humidity sensor, can be implemented. 본 발명은 (a) 바이모달(bimodal) 입도 분포를 가지는 감습성 세라믹 입자를 포함하는 바이모달 잉크를 준비하는 단계; 및 (b) 상기 바이모달 잉크를 잉크젯 인쇄하여 감습층을 형성하는 단계;를 포함하는 정전용량형 습도센서의 제조방법 및 이에 의해 제조된 정전용량형 습도센서에 대한 것으로서, 본 발명에 의하면, 바이모달(bimodal) 입도 분포를 가지는 감습성 세라믹 입자를 포함하는 바이모달 잉크를 이용해 잉크젯 인쇄를 통해 감습층을 제조함으로써, 조대 입자(coarse particle)에 의해 형성된 기공에 미세 입자(fine particle)를 도입하여 감습층의 표면적을 극대화할 수 있으며, 그 결과, 종래 기술 대비 현저히 향상된 감도(sensitivity), 넓은 상대습도 범위에 걸쳐 우수한 반복성(repeatability) 및 선형성(linearity), 낮은 히스테리시스(hysteresis), 합리적인 응답/복구 시간(response and recovery time) 및 장기 안정성 등의 특성을 가지는 정전용량형 습도센서를 구현할 수 있다.