고조파 (harmonic) 측정들 및 균일도 제어를 위한 RF 자기장 센서
플라즈마 챔버 내에 규정된 하부 전극에 인가된 전류의 자기장을 측정하기 위한 자기장 센서는 튜브형 (tubular) 하우징의 길이를 따라 배치된 도전체 엘리먼트를 포함한다. 복수의 슬롯들은 도전체 엘리먼트를 노출하도록 튜브형 하우징의 일 측면 상에 규정된다. A magnetic field sensor for measuring magnetic field of a current applied to a lower electrode defined within a plasma chamber includes a conductor element...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | kor |
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| Zusammenfassung: | 플라즈마 챔버 내에 규정된 하부 전극에 인가된 전류의 자기장을 측정하기 위한 자기장 센서는 튜브형 (tubular) 하우징의 길이를 따라 배치된 도전체 엘리먼트를 포함한다. 복수의 슬롯들은 도전체 엘리먼트를 노출하도록 튜브형 하우징의 일 측면 상에 규정된다.
A magnetic field sensor for measuring magnetic field of a current applied to a lower electrode defined within a plasma chamber includes a conductor element disposed along a length of a tubular housing. A plurality of slots is defined on one side of the tubular housing to expose the conductor element. |
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