세정용 지그, 도포 장치 및 세정 방법

용기 내에 배치되는 회전 유지 장치에 유지되는 기판의 위에 처리액을 공급하고, 상기 기판의 회전에 의해 상기 기판 상에 상기 처리액의 막을 형성하는 회전 도포 장치에서, 상기 회전 유지 장치에 기판과 동일하게 유지되는 상태로 상기 용기 내의 세정에 이용하는 원반형의 세정용 지그로서, 상기 세정용 지그의 둘레 가장자리부에는, 둘레 가장자리 천장부와 둘레 가장자리 바닥부가 전체 둘레에 걸쳐 형성되고, 상기 둘레 가장자리 천장부와 둘레 가장자리 바닥부의 사이에는, 토출구가 전체 둘레에 걸쳐 형성되며, 상기 둘레 가장자리 바닥부에는, 상기 토출구에 통하는 구멍이 둘레 방향으로 간격을 두고 복수 형성되고, 상기 둘레 가장자리 천장부의 하면은, 외주 상측을 향해 비스듬히 경사진다. A cleaning jig of a disc shape used for cleaning an inside of a container while being held by a rotary holding device in a same manner as a substrate in a spin coating apparatus that supplies a processing liquid onto a substrate held by the rotary holding device disposed in the container and forms a film of the processing liquid on the substrate by rotating the substrate. A peripheral ceiling portion and a peripheral bottom portion are formed over an entire periphery of the cleaning jig, a discharge port is formed over the entire periphery between the peripheral ceiling portion and the peripheral bottom portion, a plurality of holes is formed in the peripheral bottom portion at intervals in a circumferential direction to communicate with the discharge port, and a lower surface of the peripheral ceiling portion is inclined toward an upper periphery.