기판 전달 시스템들 및 기판 전달 시스템들의 사용 방법들

전자 디바이스 프로세싱 시스템을 위한 전달 챔버에 관한 시스템들 및 방법들이 본원에서 개시된다. 전달 챔버는 페이스-업 배향을 갖는 제1 자기 부상 트랙, 및 제1 자기 부상 트랙으로부터 이격되고 페이스-다운 배향을 갖는 제2 자기 부상 트랙을 포함할 수 있다. 시스템은 제1 및 제2 자기 부상 트랙들을 따라 이동하는 기판 캐리어들을 포함할 수 있으며, 각각의 기판 캐리어는 제1 자기장과 상호작용하기 위한, 최하부 부분 상의 자석 및 제2 자기장과 상호작용하기 위한, 최상부 부분 상의 제2 자석을 포함한다. 시스템은 또한, 제1 및...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	HUDGENS JEFFREY, BERGER ALEX, ENGLHARDT ERIC
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CONVEYING ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL PACKING PERFORMING OPERATIONS PNEUMATIC TUBE CONVEYORS SEMICONDUCTOR DEVICES SHOP CONVEYOR SYSTEMS STORING TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING ORTIPPING TRANSPORTING
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