Pellicle including integrated membrane and frame Manufacturing method for the same and Manufacturing apparatus for the Pellicle and Exposure apparatus including the Pellicle

Embodiments of the present invention relate to a pellicle in which a membrane and a frame are integrated, a manufacturing method thereof, a manufacturing apparatus for the pellicle, and an exposure apparatus including the pellicle. The manufacturing apparatus for pellicle according to the embodiment comprises: a first chamber unit in which a base material having a step is disposed; a second chamber unit including a first gas unit for depositing a pellicle frame on a base material in a first region by injecting a first process gas into a side surface of the base material; a third chamber unit including a third gas unit for depositing a pellicle membrane on a base material in a second region by injecting the first process gas into an upper surface of the base material; and a first heating unit and a second heating unit separated from each other and disposed in the first unit to heat the base material of the first region and the base material of the second region, respectively. 실시예는 멤브레인과 프레임이 일체화된 펠리클, 그 제조방법, 그 펠리클의 제조장치 및 그 펠리클을 포함하는 노광장치에 관한 것이다. 실시예예 따른 펠리클 제조장치는, 단차가 있는 모재가 배치되는 제1 챔버 유닛과, 상기 모재의 측면에 제1 공정 가스를 주입하여 제1 영역의 모재 상에 펠리클 프레임을 증착하는 제1 가스 유닛을 포함하는 제2 챔버 유닛과, 상기 모재의 상면에 상기 제1 공정 가스를 주입하여 제2 영역의 모재 상에 펠리클 멤브레인을 증착하는 제3 가스 유닛을 포함하는 제3 챔버 유닛 및 상호 분리되어 상기 제1 유닛에 배치되며, 상기 제1 영역의 모재와 상기 제2 영역의 모재를 각각 가열하는 제1 가열부, 제2 가열부를 포함할 수 있다.