높은 신호 대 잡음 비를 달성하기 위한 정전식 마이크로폰 센서 설계 및 제작 방법

정전식 변환기 또는 마이크로폰은 제 1 표면, 제 1 표면의 제 1 공동, 및 제 1 공동에 걸쳐 있는 메사 다이어프램을 포함하는 하나 이상의 층의 제 1 기판을 포함한다. 정전식 변환기 또는 마이크로폰은 제 1 기판에 고정된 제 2 기판을 포함한다. 제 2 기판은 메사 다이어프램을 향하는 비-평면(예를 들어, 윤곽이 있거나 구조화되거나 단차형) 하단 표면을 구비한 제 2 공동을 포함하는 하나 이상의 층을 가진다. 공동의 하단 표면의 형상 또는 릴리프는 유리하게, 적어도 어느 정도까지 다이어프램의 변형된 형상에 상보적일 수 있다. 제 2 기판은 그를 가로질러 불균일하게 분포된 하나 이상의 음향 구멍을 포함할 수 있다. 하나 이상의 통기구가 제 2 공동을 통기할 수 있다. A capacitive transducer or microphone includes a first substrate of one or more layers and which includes a first surface, a first cavity in the first surface, and a mesa diaphragm that spans the first cavity. The capacitive transducer or microphone includes a second substrate fixed to the first substrate. The second substrate has one or more layers which includes a second cavity having a nonplanar (e.g., contoured or structured or stepped) bottom surface that faces the mesa diaphragm. A shape or relief of the bottom surface of the cavity may advantageously be, to at least some degree, complementary to a deformed shape of the diaphragm. The second substrate may include one or more acoustic holes, non-uniformly distributed thereacross. One or more vents may vent the second cavity.