스펙트럼 필터링 시스템, 장치 및 방법

본 개시는 광학 데이터를 나타내는 전기 데이터에서 비정상 신호들을 식별함으로써 광학 데이터의 개선된 프로세싱을 제공한다. 개선된 프로세싱은 또한 광학 데이터의 보다 정확한 표현을 제공하기 위해 식별된 비정상 신호 데이터를 수정하는 것을 포함할 수 있다. 개시된 프로세싱은 광학 데이터에 대응하는 스펙트럼 데이터를 처리하기 위한 다양한 시스템들 및 장치들에 의해 사용될 수 있다. 개선된 프로세싱은 반도체 프로세스의 모니터링을 개선하고 그에 따라 전체 반도체 프로세스를 개선하는 데 사용될 수 있다. 일례에서, 스펙트럼 데이터를 처리하는 방법은: (1) 시간적으로 분리된 스펙트럼 데이터 샘플들을 수신하는 단계, 및 (2) 스펙트럼 데이터 샘플들의 적어도 하나의 선행하는 및 적어도 하나의 후속하는 샘플들에 기초하여 시간적으로 분리된 스펙트럼 데이터 샘플들 중 중간 샘플의 하나 이상의 비정상 신호들을 식별하는 단계를 포함한다. The disclosure provides improved processing of optical data by identifying anomalous signals in the electrical data representing the optical data. The improved processing can also include modifying the identified anomalous signal data to provide a truer representation of the optical data. The disclosed processing can be used by various systems and apparatuses for processing spectral data corresponding to the optical data. The improved processing can be used to improve the monitoring of semiconductor processes and, therefore, improve the overall semiconductor processes. In one example, a method of processing spectral data includes: (1) receiving temporally separated spectral data samples, and (2) identifying one or more anomalous signals in an intermediate one of the temporally separated spectral data samples based on at least one preceding and at least one subsequent ones of the spectral data samples.