Carrier device for substrate inspection using magnetic repulsive force

The present invention relates to a carrier device for substrate inspection, capable of supporting a substrate to be inspected so that the substrate to be inspected keeps level with multiple probes descending from the upper part, by using a magnetic repulsive force. The carrier device for substrate inspection includes: an upper plate formed for the substrate to be inspected to be placed thereon and fixed; a middle plate arranged under the upper plate and formed for the predetermined magnetic repulsive force to be applied between the upper plate and the middle plate; and a base plate arranged under the middle plate and formed for the predetermined magnetic repulsive force to be applied between the middle plate and the base plate. Multiple magnetic substances forming upper and lower magnetic repulsive forces as a same polarity are individually installed on the lower surface of the upper plate and the upper surface of the middle plate. The multiple magnetic substances forming the upper and lower magnetic repulsive forces as the same polarity are individually installed on the upper surface of the base plate and the lower surface of the middle plate. The multiple magnetic substances are formed of permanent magnets or electromagnets in the same polarity. 본 발명은 검사대상 기판을 자기적 척력을 이용하여 지지함으로써 상부에서 하강하는 복수의 프로브들과 수평을 유지하도록 지지할 수 있는 기판 검사용 캐리어 장치에 관한 것으로, 검사대상 기판을 올려놓고 고정할 수 있도록 구성된 상부 플레이트, 상기 상부 플레이트의 아래에 배치되고 상기 상부 플레이트와의 사이에 소정의 자기적 척력이 작용하도록 구성된 중간 플레이트, 및 상기 중간 플레이트 아래에 배치되고 상기 중간 플레이트와의 사이에 소정의 자기적 척력이 작용하도록 구성된 베이스 플레이트를 포함하고, 상기 상부 플레이트의 아랫면과 상기 중간 플레이트의 윗면에는 서로 동일한 극성으로 상,하 자기적 척력을 형성하는 복수의 자성체들이 각각 설치되고, 상기 베이스 플레이트의 윗면과 상기 중간 플레이트의 아랫면에는 서로 동일한 극성으로 상,하 자기적 척력을 형성하는 복수의 자성체들이 각각 설치된 구성으로서, 상기 복수의 자성체들은 동일한 극성의 영구자석 또는 전자석으로 이루어지는 기판 검사용 캐리어 장치를 제공한다.