방사상 가스 커튼 및/또는 내부 볼륨 제어를 갖는 웨이퍼 핸들링 로봇

수직 병진 (vertical translation) 을 위해 구성된 웨이퍼 핸들링 로봇들로부터 미립자 오염을 감소시키거나 제거하기 위한 시스템들 및 기법들이 개시된다. 이러한 일 기법에서, 이를 통해 웨이퍼 핸들링 로봇의 터렛 (turret) 이 연장될 수도 있거나 후퇴될 (retract) 수도 있는 어퍼처 (aperture) 를 갖는 칼라 (collar) 가 제공될 수도 있다. 칼라는 하나 이상의 방사상 가스 통로들을 가질 수도 있다. 방사상 통로(들)로부터 터렛으로 지향된 가스는 터렛과 부딪칠 때 하향으로 회전할 수도 있고 그리...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	DITMORE CHARLES N, BLANK RICHARD M
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY HAND TOOLS MANIPULATORS PERFORMING OPERATIONS PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS SEMICONDUCTOR DEVICES TRANSPORTING
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