방사상 가스 커튼 및/또는 내부 볼륨 제어를 갖는 웨이퍼 핸들링 로봇

수직 병진 (vertical translation) 을 위해 구성된 웨이퍼 핸들링 로봇들로부터 미립자 오염을 감소시키거나 제거하기 위한 시스템들 및 기법들이 개시된다. 이러한 일 기법에서, 이를 통해 웨이퍼 핸들링 로봇의 터렛 (turret) 이 연장될 수도 있거나 후퇴될 (retract) 수도 있는 어퍼처 (aperture) 를 갖는 칼라 (collar) 가 제공될 수도 있다. 칼라는 하나 이상의 방사상 가스 통로들을 가질 수도 있다. 방사상 통로(들)로부터 터렛으로 지향된 가스는 터렛과 부딪칠 때 하향으로 회전할 수도 있고 그리고 웨이퍼 핸들링 로봇의 베이스 내로부터 가스가 어퍼처를 통해 탈출하는 것을 방지하거나 억제하도록 작용할 수도 있다. 또 다른 기법에서, 터렛 및 벨로우즈 (bellows) 에 의해 점유된 베이스의 볼륨이 일반적으로 베이스로부터 터렛이 연장되는 정도와 무관하게 고정되도록 벨로우즈가 터렛의 하단 및 베이스의 하단에 부착될 (affix) 수도 있다. A collar may be provided having an aperture through it through which the turret of a wafer handling robot may be extended or retracted. The collar may have one or more radial gas passages. Gas directed inwards towards the turret from the radial passage(s) may turn downward when it strikes the turret. A bellows may be optionally affixed to the bottom of the turret and to the bottom of the base such that the volume of the base occupied by the turret and the bellows remains generally fixed regardless of the degree to which the turret is extended from the base.