DEFECT INSPECTION APPARATUS AND DEFECT INSPECTION METHOD

The objective of the present invention is to provide a defect inspection apparatus and a defect inspection method, which can inspect various types of defects in a synthesized image. As a means for solving the above problem, the defect inspection apparatus synthesizes a first detection signal from a first detector with a second detection signal from a second detector at a first synthesis ratio to generate a first synthesized image, and synthesizes the first detection signal with the second detection signal at a second synthesis ratio different from the first synthesis ratio to generate a second synthesized image. The defect inspection apparatus also generates a first inspection image based on the first synthesized image and generates a second inspection image based on the second synthesized image. The defect inspection apparatus also executes a logical operation on the first inspection image and the second inspection image to generate a synthesized inspection image. The defect inspection apparatus executes defect determination on the synthesized inspection image. 본 발명은, 합성 화상에 있어서, 다종다양한 결함종을 검사 가능하게 하는 결함 검사 장치 및 결함 검사 방법을 제공하는 것을 과제로 한다. 이러한 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 이 결함 검사 장치는, 제1 검출기로부터의 제1 검출 신호와, 제2 검출기로부터의 제2 검출 신호를 제1 합성 비율에 의해 합성해서 제1 합성 화상을 생성함과 함께, 상기 제1 검출 신호와 상기 제2 검출 신호를 상기 제1 합성 비율과는 다른 제2 합성 비율에 의해 합성해서 제2 합성 화상을 생성한다. 그리고, 상기 제1 합성 화상에 의거해서 제1 검사 화상을 생성함과 함께, 상기 제2 합성 화상에 의거해서 제2 검사 화상을 생성한다. 또한, 상기 제1 검사 화상과 상기 제2 검사 화상의 논리 연산을 실행해서 합성 검사 화상을 생성한다. 상기 합성 검사 화상에 대하여 결함 판정을 실행한다.