광학 디바이스들을 필라멘트화 및 싱귤레이팅하기 위한 레이저 다이싱 시스템

하나 이상의 디바이스들을 포함하는 제1 기판을 레이저 다이싱 툴로 이송하는 단계를 포함하는, 광학 디바이스들을 생산하는 방법이 제공되며, 레이저 다이싱 툴은 필라멘트화 스테이지 및 싱귤레이션 스테이지를 포함한다. 필라멘트 스테이지에서 제1 기판에 하나 이상의 디바이스 윤곽들이 생성된다. 광학 디바이스들은 싱귤레이션 스테이지에서 제1 기판으로부터 하나 이상의 디바이스 윤곽들을 따라 싱귤레이팅된다. 디바이스들은 보관 또는 추가의 백엔드 프로세싱을 위해 이송된다. A system for fabricating devices includes a plurality of stages, each stage disposed below a corresponding optical head of a plurality of movable optical heads, each optical head corresponding to a laser source, each optical head comprising a swappable optical head positioned in a staggered position relative to one another such that each laser beam path of each optical head from each corresponding laser source does not intersect one another, a conveyor system coupled to the plurality of stages, and a sorting system comprising a robot capable of moving devices from the conveyor system to at least one backend storage port or to a backend processor.