균일한 층제거를 위해 고에너지 SEM 하에서 퇴적을 이용한 빈 구조들의 채움

중실 부분들에 의해 분리된 홀들의 어레이를 포함하는 샘플의 영역을 평가하는 방법이다. 방법은, 주사 전자 현미경(SEM) 컬럼 및 집속 이온 빔(FIB)을 포함하는 평가 툴의 진공 챔버 내에 샘플을 위치시키는 단계; 샘플 상에 퇴적 가스를 주입하는 단계; 홀들의 어레이의 복수의 홀들을 포함하는 샘플의 부분을 제1 하전 입자 빔으로 주사하여, 주사된 부분의 복수의 홀들 내에 퇴적 가스로부터의 물질을 국부적으로 퇴적시키는 단계; 및 물질이 국부적으로 퇴적된 복수의 홀들을 포함하는 샘플의 부분을 FIB 컬럼으로 밀링하는 단계를 포함한다. A method of evaluating a region of a sample that includes an array of holes separated by solid portions. The method includes positioning the sample within in a vacuum chamber of an evaluation tool that includes a scanning electron microscope (SEM) column and a focused ion beam (FIB); injecting a deposition gas onto the sample; scanning, with a first charged particle beam, a portion of the sample that includes a plurality of holes in the array of holes to locally deposit material within the plurality of holes in the scanned portion from the deposition gas; and milling, with the FIB column, the portion of the sample that includes the plurality of holes in which the material was locally deposited.