Supercritical device comprising a mass flow meter

According to an embodiment of the present invention, a supercritical device comprising a mass flowmeter is provided to obtain an accurate extraction end timing by predicting an extraction yield using the mass flowmeter. A supercritical device including a mass flowmeter includes: a storage tank for storing carbon dioxide, which is a supercritical solvent; an extractor connected to the storage tank to extract a specific substance as a sample and the supercritical solvent are supplied therein and react with each other; a pump disposed between the storage tank and the extractor to supply the supercritical solvent from the storage tank to the extractor; a separator separating the specific substance extracted through the extractor from the supercritical solvent and discharging only the specific substance; and a controller controlling the flow rate of the pump based on information received from mass flowmeters installed in front and rear of the extractor. 본 발명의 실시예에 따르면 질량 유량계를 포함하는 초임계 장치를 제공한다. 질량 유량계를 포함하는 초임계 장치는 초임계 용매인 이산화탄소를 저장하는 저장탱크, 상기 저장탱크와 연결되어 내부에 시료 및 초임계 용매가 공급되어 서로 반응함에 따라 특정 물질의 추출을 수행하는 추출기, 상기 저장탱크와 상기 추출기 사이에 배치되어 상기 저장탱크에서 상기 추출기로 초임계 용매를 공급하는 펌프, 상기 추출기를 통해 추출된 특정 물질과 초임계 용매를 분리시켜 특정 물질만을 배출시키는 분리기 및 상기 추출기의 전단 및 후단에 설치된 질량 유랑계들로부터 수신한 정보에 기초하여 상기 펌프의 유량을 제어하는 제어기를 포함한다.