INLINE PARTICLE SENSOR

인라인 입자 센서(100)는 피팅(122) 내에 장착하도록 구성된 센서 헤드(120)를 포함하고, 센서 헤드(120)는 밀봉되고 감지 볼륨으로부터 분리되고 감지 볼륨을 통하여 레이저 빔을 방출하도록 구성된 레이저 공급원(308) 및 레이저 빔을 통과하는 감지 볼륨 내의 입자를 탐지하도록 배열된 탐지기(310)를 포함한다. 인라인 입자 센서(100)는 센서 헤드(120)에 결합되고, 탐지기(310)로부터 입자를 나타내는 신호를 수신하고 그 신호에 기반한 입자 출력을 제공하도록 구성된 전자부품(302)을 더 포함한다. An inline particle sensor includes a sensor head configured to mount within a fitting, the sensor head including a laser source sealed and isolated from a sensing volume and configured to emit a laser beam through the sensing volume and a detector arranged to detect particles in the sensing volume that pass through the laser beam. The vacuum particle sensor further includes electronics coupled to the sensor head and configured to receive a signal indicative of the particles from the detector and provide a particle output based on the signal.