재료의 패터닝된 층을 형성하기 위한 방법 및 장치

재료의 패터닝된 층을 형성하기 위한 방법 및 장치가 개시된다. 한 배열체에서, 증착-공정 재료는 가스 형태로 제공된다. 증착-공정 재료의 층은 가스 증착-공정 재료의 응축 또는 증착을 야기함으로써 기판 상에 형성된다. 증착-공정 재료의 층의 선택된 부분은 조사되어 선택된 부분 내의 증착-공정 재료를 개질시킨다. Methods and apparatus for forming a patterned layer of material are disclosed. In one arrangement, a deposition-process mater...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	OVERKAMP JIM VINCENT, DE VRIES GOSSE CHARLES, CASTELLANOS ORTEGA SONIA, POLYAKOV ALEXEY OLEGOVICH, DRUZHININA TAMARA, COENEN TEIS JOHAN, KURGANOVA EVGENIA, LUGIER OLIVIER CHRISTIAN MAURICE
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY CINEMATOGRAPHY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL MATERIALS THEREFOR METALLURGY ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	재료의 패터닝된 층을 형성하기 위한 방법 및 장치가 개시된다. 한 배열체에서, 증착-공정 재료는 가스 형태로 제공된다. 증착-공정 재료의 층은 가스 증착-공정 재료의 응축 또는 증착을 야기함으로써 기판 상에 형성된다. 증착-공정 재료의 층의 선택된 부분은 조사되어 선택된 부분 내의 증착-공정 재료를 개질시킨다. Methods and apparatus for forming a patterned layer of material are disclosed. In one arrangement, a deposition-process material is provided in gaseous form. A layer of the deposition-process material is formed on the substrate by causing condensation or deposition of the gaseous deposition-process material. A selected portion of the layer of deposition-process material is irradiated to modify the deposition-process material in the selected portion.