ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

The present invention relates to an organic light emitting display device and a method for manufacturing the same and, more specifically, to an organic light emitting display device having a passivation layer and a method for manufacturing the same. According to an embodiment, the method for manufacturing the organic light emitting display device comprises the steps of: providing a substrate having an organic light emitting portion on a thin-film transistor; and forming a passivation layer on the organic light emitting portion. The forming of the passivation layer includes supplying a source gas including a silicon-containing gas, a reaction gas including a nitrogen-containing gas and a hydrogen-containing gas and not including ammonia gas, and an inert gas to a process space for forming the passivation layer to form a silicon oxynitride layer. Therefore, reliability and light extraction efficiency can be increased. 본 발명은 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 패시베이션층이 형성된 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은, 박막 트랜지스터 상에 유기 발광부가 형성된 기판을 마련하는 단계; 및 상기 유기 발광부 상에 패시베이션층을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 패시베이션층을 형성하는 단계는, 상기 패시베이션층을 형성하기 위한 공정 공간에, 실리콘 함유 가스를 포함하는 원료 가스, 암모니아 가스를 제외한 질소 함유 가스와 수소 함유 가스를 포함하는 반응 가스 및 비활성 가스를 공급하여 실리콘 산화 질화막을 형성하는 단계;를 포함한다.