회수 기구, 기판 처리 장치 및 회수 방법

주연 제거 기구에 있어서 제거된 기판의 주연부의 회수 기구로서, 제거된 상기 주연부를 회수하는 회수부와 상기 주연 제거 기구를 접속하는 배출부와, 상기 배출부에 있어서의 상기 주연부의 배출 경로를 전환 가능하게 구성되는 경로 전환부를 구비한다. Provided is a recovery mechanism for peripheral sections of a substrate which have been removed in a periphery removing mechanism. The recovery mechanism comprises...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	NAKANO SEIJI, YAMAWAKI YOHEI
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOTDIRECTED TO A PARTICULAR RESULT DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g.ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY MACHINE TOOLS MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OFPARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL SEMICONDUCTOR DEVICES SEPARATION TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	주연 제거 기구에 있어서 제거된 기판의 주연부의 회수 기구로서, 제거된 상기 주연부를 회수하는 회수부와 상기 주연 제거 기구를 접속하는 배출부와, 상기 배출부에 있어서의 상기 주연부의 배출 경로를 전환 가능하게 구성되는 경로 전환부를 구비한다. Provided is a recovery mechanism for peripheral sections of a substrate which have been removed in a periphery removing mechanism. The recovery mechanism comprises: a discharge part that connects the periphery removing mechanism and a recovery part that recovers the peripheral sections which have been removed; and a path switching part that can switch, in the discharge part, the discharge path for the peripheral sections.