MEASURING METHOD OF TEMPERATURE DISTRIBUTION

A method for measuring temperature distribution according to an embodiment of the present invention comprises: a step of generating ultrasonic waves at a predetermined position around a chamber in which temperature distribution will be measured; a step of receiving the ultrasonic waves at a plurality of positions other than the predetermined position, and acquiring ultrasonic wave data; a step of calculating ultrasonic wave arrival time from generation of ultrasonic waves to reception; and a step of acquiring data on the temperature distribution inside the chamber with respect to the calculated ultrasonic wave arrival time by using an artificial neural network trained based on an ultrasonic refraction simulation. Therefore, the method for measuring temperature distribution according to an embodiment of the present invention can measure temperature distribution accurately in consideration of ultrasonic refraction, and can measure temperature distribution more rapidly than conventional methods. 본 발명의 실시예에 따른 온도 분포 측정 방법은, 온도 분포를 측정하고자 하는 챔버 주변의 소정의 위치에서 음파를 발생시키는 단계, 상기 소정의 위치와 다른 복수의 위치에서 상기 음파를 수신하여 음파 데이터를 획득하는 단계, 상기 음파를 발생시켜 수신하기까지의 음파 도달 시간을 계산하는 단계, 음파 굴절 시뮬레이션에 기초하여 학습된 인공 신경망을 이용하여, 계산된 상기 음파 도달 시간에 대한 상기 챔버 내부의 온도 분포 데이터를 획득하는 단계를 포함할 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 분포 측정 방법을 이용하여 음파 굴절을 고려하여 온도 분포를 정확하게 측정할 수 있고, 나아가 종래의 방법보다 빠르게 온도 분포를 측정할 수 있다.