리간드-개질된 필터 및 액체 조성물로부터 금속을 감소시키는 방법

유체로부터 금속 또는 금속 이온을 여과하는데 매우 효과적인, 이미노디아세트산과 같은 폴리카르복실 리간드를 갖는 필터 재료가 설명된다. 필터 재료는 습식 에칭, 포토레지스트 제거, 및 마이크로전자 장치 제조의 세정 단계에 사용되는 것과 같이, 다양한 유체 조성물을 여과하는데 특히 유용할 수 있다. Described are filter materials having polycarboxyl ligands, such as iminodiacetic acid, which are highly effective for filtering metal...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	FILIPANCIC NICHOLAS J, BREWSTER JUSTIN, HAMZIK JAMES, JABER JAD A
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS CHEMISTRY COMPOSITIONS BASED THEREON MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVINGCARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS METALLURGY ORGANIC CHEMISTRY ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL SEPARATION THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP TRANSPORTING TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
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