리간드-개질된 필터 및 액체 조성물로부터 금속을 감소시키는 방법

유체로부터 금속 또는 금속 이온을 여과하는데 매우 효과적인, 이미노디아세트산과 같은 폴리카르복실 리간드를 갖는 필터 재료가 설명된다. 필터 재료는 습식 에칭, 포토레지스트 제거, 및 마이크로전자 장치 제조의 세정 단계에 사용되는 것과 같이, 다양한 유체 조성물을 여과하는데 특히 유용할 수 있다. Described are filter materials having polycarboxyl ligands, such as iminodiacetic acid, which are highly effective for filtering metal...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	FILIPANCIC NICHOLAS J, BREWSTER JUSTIN, HAMZIK JAMES, JABER JAD A
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS CHEMISTRY COMPOSITIONS BASED THEREON MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVINGCARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS METALLURGY ORGANIC CHEMISTRY ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL SEPARATION THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP TRANSPORTING TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
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Beschreibung
Zusammenfassung:	유체로부터 금속 또는 금속 이온을 여과하는데 매우 효과적인, 이미노디아세트산과 같은 폴리카르복실 리간드를 갖는 필터 재료가 설명된다. 필터 재료는 습식 에칭, 포토레지스트 제거, 및 마이크로전자 장치 제조의 세정 단계에 사용되는 것과 같이, 다양한 유체 조성물을 여과하는데 특히 유용할 수 있다. Described are filter materials having polycarboxyl ligands, such as iminodiacetic acid, which are highly effective for filtering metals or metal ions from fluids. The filter materials can be particularly useful to filter various fluid compositions, such as those used for wet etching, removing photoresist, and cleaning steps in microelectronic device manufacturing.