MEMS 디바이스를 음향적으로 테스트하기 위한 방법 및 장치

실시 예는 복수의 MEMS 장치 중 적어도 하나의 MEMS 장치를 음향적으로 테스트하기 위한 방법을 제공한다. 상기 방법은 적어도 하나의 MEMS 디바이스를 제공하는 단계를 포함한다. 추가적으로, 상기 방법은 적어도 하나의 MEMS 디바이스를 음향 진동으로 여기시키는 단계를 포함한다. 추가적으로, 상기 방법은 적어도 하나의 사운드 센서에 의해 적어도 하나의 MEMS 디바이스의 음향 진동을 검출하는 단계를 포함한다. 추가적으로, 상기 방법은 적어도 하나의 MEMS 디바이스를 의도된 기능에 대해 테스트하기 위해 적어도 하나의 사운드 센...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	CLAUSS TOBIAS, FRITZSCHE PAUL, FRITSCH TOBIAS, FIEDLER MATTHIAS
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	실시 예는 복수의 MEMS 장치 중 적어도 하나의 MEMS 장치를 음향적으로 테스트하기 위한 방법을 제공한다. 상기 방법은 적어도 하나의 MEMS 디바이스를 제공하는 단계를 포함한다. 추가적으로, 상기 방법은 적어도 하나의 MEMS 디바이스를 음향 진동으로 여기시키는 단계를 포함한다. 추가적으로, 상기 방법은 적어도 하나의 사운드 센서에 의해 적어도 하나의 MEMS 디바이스의 음향 진동을 검출하는 단계를 포함한다. 추가적으로, 상기 방법은 적어도 하나의 MEMS 디바이스를 의도된 기능에 대해 테스트하기 위해 적어도 하나의 사운드 센서에 의해 검출된 적어도 하나의 MEMS 디바이스의 음향 진동을 평가하는 단계를 포함한다. Embodiments provide a method for acoustically testing at least one MEMS device of a plurality of MEMS devices. The method comprises a step of providing at least one MEMS device. Additionally, the method comprises a step of exciting the at least one MEMS device to an acoustic vibration. Additionally, the method comprises a step of detecting the acoustic vibration of the at least one MEMS device by at least one sound sensor. Additionally, the method comprises a step of evaluating the acoustic vibration of the at least one MEMS device detected by the at least one sound sensor to test the at least one MEMS device as to an intended functionality.