세라믹 히터 및 그 제법
정전 척 히터는, 저항 발열체(16)를 구비한다. 저항 발열체(16)는, 저항 발열체(16)의 일단부로부터 타단부까지가 복수의 구간(S)으로 분할되어 있다. 오목 홈(R)은, 구간(S)마다의 표면에 저항 발열체(16)의 길이 방향을 따라서 마련되어 있다. 인접하는 구간(S)에 마련된 오목 홈(R)끼리의 연결부에는, 연결부를 따라서 연장되는 볼록부(Rm)가 마련되어 있다. An electrostatic chuck heater includes a resistance heating element. A region of the resist...
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| Hauptverfasser: | , |
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| Format: | Patent |
| Sprache: | kor |
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| Zusammenfassung: | 정전 척 히터는, 저항 발열체(16)를 구비한다. 저항 발열체(16)는, 저항 발열체(16)의 일단부로부터 타단부까지가 복수의 구간(S)으로 분할되어 있다. 오목 홈(R)은, 구간(S)마다의 표면에 저항 발열체(16)의 길이 방향을 따라서 마련되어 있다. 인접하는 구간(S)에 마련된 오목 홈(R)끼리의 연결부에는, 연결부를 따라서 연장되는 볼록부(Rm)가 마련되어 있다.
An electrostatic chuck heater includes a resistance heating element. A region of the resistance heating element from one end to another end of the resistance heating element is divided into a plurality of sections. Recessed grooves are provided in the respective sections along a longitudinal direction of the resistance heating element in a surface. In a connection portion between the recessed grooves that are provided in the adjacent sections, a projection portion that extends along the connection portion is provided. |
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