세라믹 히터 및 그 제법

정전 척 히터는, 세라믹 기판(12)의 내부에 저항 발열체(16)를 구비하고 있다. 저항 발열체(16)의 표면에는, 저항 발열체(16)의 길이 방향을 따라서 오목 홈(17)이 마련되어 있다. 오목 홈(17)의 측벽면(17a)은 세라믹 기판(12)의 표면에 대하여 경사져 있다. 오목 홈(17)의 측벽면(17a)과 세라믹 기판(12) 사이에는 공극이 존재하지 않는다. A method of manufacturing a ceramic heater, the method includes the steps of: (a) forming, on a surface of a first ceramic fired layer or an unfired layer, a resistance heating element or its precursor in a predetermined pattern; (b) forming a recessed groove along a longitudinal direction by radiating laser light to the resistance heating element or its precursor; (c) obtaining a layered body by disposing a second ceramic unfired layer on the surface of the first ceramic fired layer or the unfired layer; and (d) obtaining the ceramic heater in which the resistance heating element is embedded in a ceramic substrate by performing hot press firing on the layered body, wherein, in the step (b), the recessed groove is formed such that a side wall surface of the recessed groove is inclined relative to the surface of the first ceramic fired layer or the unfired layer.