스피닝하는 반사 기판을 분석하기 위한 하드웨어 개선 및 방법

기판의 하나 이상의 특성을 모니터링하기 위한 시스템 및 방법의 실시예들을 개시한다. 기판 상에 분배된 유체의 특성에 관한 데이터를 제공하기 위해 광학 센서(일 실시예에서, 카메라)를 이용하는 다양한 실시예를 설명한다. 센서 데이터의 수집과 분석을 개선하기 위한 다양한 하드웨어 개선 및 방법을 제공한다. 보다 구체적으로, 다양한 하드웨어 관련 기술을 조합하거나 단독으로 이용하여, 광학 센서를 사용하는 데이터 수집을 개선할 수 있다. 이러한 하드웨어 기술은, 광원의 개선, 광학 센서의 개선, 광학 센서에 대한 광원의 물리적 배향의 관계, 분석을 위한 화상의 소정 픽셀의 선택, 및 기판의 회전 속도와 광학 센서의 프레임 속도의 관계를 포함할 수 있다. Embodiments of systems and methods for monitoring one or more characteristics of a substrate are disclosed. Various embodiments of utilizing optical sensors (in one embodiment a camera) to provide data regarding characteristics of a fluid dispensed upon the substrate are described. A variety of hardware improvements and methods are provided to improve the collection and analysis of the sensor data. More specifically, a wide variety of hardware related techniques may be utilized, either in combination or singularly, to improve the collection of data using the optical sensor. These hardware techniques may include improvements to the light source, improvements to the optical sensors, the relationship of the physical orientation of the light source to the optical sensor, the selection of certain pixels of the image for analysis, and the relationship of the optical sensor frame rate with the rotational speed of the substrate.