패턴 매칭 장치, 패턴 측정 시스템 및 비일시적 컴퓨터 가독 매체

패턴 매칭 장치는, 설계 데이터(104)에 의거하는 제1 패턴 데이터와 전자 현미경의 촬상 화상(102)을 나타내는 제2 패턴 데이터 사이에서 패턴 매칭 처리를 실행하는 컴퓨터 시스템을 구비한다. 컴퓨터 시스템은, 1개 이상의 제1 에지 후보를 포함하는 제1 에지 후보 그룹을 취득하고, 선출 필요 개수(제2 패턴 데이터에 의거해서 선출해야 할 제2 에지 후보의 수)를 취득하고, 선출 필요 개수의 제2 에지 후보를 포함하는 제2 에지 후보 그룹을 취득하고, 제1 에지 후보 그룹과 제2 에지 후보 그룹의 서로 다른 대응짓기의 조합의 각...

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