증착용 도가니 및 이를 포함하는 증착 장치

본 실시예에 따른 증착용 도가니는 증착 원료가 담기는 원통 용기 형상의 도가니 본체; 및 상기 도가니 본체 상측에 구비되고, 증착 물질이 분사되는 적어도 하나 이상의 노즐이 상면에 구비된 원통 커버 형상의 도가니 캡;을 포함하며, 상기 도가니 본체는, 상부 내주면에 형성된 암나사산을 포함하고, 상기 도가니 캡은, 상기 도가니 본체의 암나사산과 맞물리도록 외주면에 형성된 수나사산을 포함한다. A crucible for deposition according to an embodiment of the present invention co...

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Hauptverfasser: LEE YONGHWAN, MOON BYOUNGJUN, KIM SUNKEE, KIM INKYU
Format: Patent
Sprache:kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:본 실시예에 따른 증착용 도가니는 증착 원료가 담기는 원통 용기 형상의 도가니 본체; 및 상기 도가니 본체 상측에 구비되고, 증착 물질이 분사되는 적어도 하나 이상의 노즐이 상면에 구비된 원통 커버 형상의 도가니 캡;을 포함하며, 상기 도가니 본체는, 상부 내주면에 형성된 암나사산을 포함하고, 상기 도가니 캡은, 상기 도가니 본체의 암나사산과 맞물리도록 외주면에 형성된 수나사산을 포함한다. A crucible for deposition according to an embodiment of the present invention comprises: a crucible body which has a cylindrical vessel shape and in which a deposition raw material is contained; and a crucible cap which has a cylindrical cover shape, is provided at the top of the crucible body, and includes, at the upper surface thereof, at least one nozzle from which the deposition material is ejected, wherein the crucible body includes a female thread formed at the upper inner circumferential surface thereof, and the crucible cap includes a male thread formed at the outer circumferential surface thereof so as to engage with the female thread of the crucible body.