TEMPERATURE CONTROLLING APPARATUS TEMPERATURE CONTROLLING METHOD AND PLACING TABLE

An objective of the present invention is to maintain the precision of temperature control on a treated substrate at a high level even when a heater is disconnected. A substrate treatment apparatus includes an electrostatic chuck, a plurality of heaters (6c-1, 6c-2), and a control part (21). The plurality of heaters is individually embedded in each divided area (6d) in the electrostatic chuck. The plurality of heaters embedded in each divided area (6d) is connected in parallel. The control part (21) determines whether some of the heaters embedded in each divided area (6d) are disconnected, based on a total value of currents flowing in the plurality of heaters embedded in the divided area (6d), with respect to each divided area (6d). In addition, the control part (21), when determining some of the heaters embedded in the divided area (6d) as disconnected, performs a control operation such that a current flowing into one single heater embedded in the divided area (6d), in which some of the heaters are disconnected, can become greater than a current flowing into one single heater embedded in the divided area (6d) in which none of the heaters are disconnected. 본 발명은 히터가 단선된 경우라도 피처리 기판의 온도 제어의 정밀도를 높게 유지하는 것을 과제로 한다. 기판 처리 장치는, 정전 척과, 복수개의 히터(6c-1 및 6c-2)와, 제어부(21)를 포함한다. 복수개의 히터는, 정전 척의 내부의 각 분할 영역(6d)에 매립되어 있다. 각 분할 영역(6d)에 매립되어 있는 복수개의 히터는 병렬로 접속되어 있다. 제어부(21)는, 분할 영역(6d)마다, 분할 영역(6d)에 매립되어 있는 복수개의 히터에 흐르는 전류의 합계값에 기초하여, 분할 영역(6d)마다 매립되는 일부의 히터의 단선의 유무를 판정한다. 그리고, 제어부(21)는, 분할 영역(6d)에 매립되는 일부의 히터가 단선되었다고 판정된 경우에, 일부의 히터가 단선된 분할 영역(6d) 내에 매립되는 히터 하나당에 흘리는 전류를, 어느 히터도 단선되지 않은 분할 영역(6d) 내의 히터 하나당에 흘리는 전류보다 많아지도록 제어한다.