METHOD OF MANUFACTURING METAL OXIDE ELECTRODE PHOTOCATHODE AND PHOTO-ELECTROCHEMICAL CELL
The present invention relates to a method for manufacturing a metal oxide electrode. The method for manufacturing a photocathode having a CuM_2O_4 metal oxide thin film comprises the following steps of: applying a solution, in which Cu precursor material and M precursor material are dissolved, on a...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | The present invention relates to a method for manufacturing a metal oxide electrode. The method for manufacturing a photocathode having a CuM_2O_4 metal oxide thin film comprises the following steps of: applying a solution, in which Cu precursor material and M precursor material are dissolved, on a substrate by spin coating to form a precursor thin film; performing a first heat treatment process on the precursor thin film at a first temperature; and performing a second heat treatment process on the first heat-treated precursor thin film at a second temperature higher than the first temperature, wherein the M may include one selected from a group consisting of bismuth (Bi), chromium (Cr), and iron (Fe). The metal oxide electrode manufactured by the method is uniform and dense and has bulky grain.
본 발명은 금속산화물 전극의 제조방법에 관한 것으로, CuM2O4 금속산화물 박막을 구비하는 광환원 전극의 제조방법에 있어서, 기판 상에 스핀 코팅으로 Cu 전구체 물질과 M 전구체 물질이 용해된 용액을 도포하여 전구체 박막을 형성하는 단계; 상기 전구체 박막에 대해 제1 온도에서 제1 열처리 공정을 진행하는 단계; 및 상기 제1 열처리된 전구체 박막에 대해 상기 제1 온도보다 높은 제2 온도에서 제2 열처리 공정을 진행하는 단계;를 포함하고, 상기 M은 비스무스(Bi), 크롬(Cr) 및 철(Fe)로 이루어진 그룹에서 선택된 하나를 포함할 수 있다. |
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