다층막을 갖는 투명 기체

본 발명은 2개의 주면을 갖는 투명 기체의 적어도 한쪽의 주면에, 금속 산화물층과 산화규소층이 차례로 적층된 다층막을 구비하고, 상기 다층막 내의 적어도 하나의 산화규소층은 SiOx가 1.55≤x

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Hauptverfasser: NISHIKAWA YASUHISA, KOBAYASHI DAISUKE
Format: Patent
Sprache:kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:본 발명은 2개의 주면을 갖는 투명 기체의 적어도 한쪽의 주면에, 금속 산화물층과 산화규소층이 차례로 적층된 다층막을 구비하고, 상기 다층막 내의 적어도 하나의 산화규소층은 SiOx가 1.55≤x