하전 입자 조사 장치, 시스템, 방법 및 프로그램

[과제] 대전물을 신속하게 목표 대전 상태에 근접시킬 수 있는 하전 입자 조사 장치 등을 제공하는 것. [해결 수단] 하전 입자를 조사하기 전의 대전물의 대전 상태인 조사 전 대전 상태를 검출하는 조사 전 상태 검출부와, 대전물의 대전 상태와 그 대전물에 대하여 조사되는 하전 입자의 제어에 사용되는 제어량에 관한 제어 파라미터를 입력함으로써 하전 입자를 상기 제어 파라미터 하에서 제어하여 조사한 후의 대전물의 대전 상태인 추정 대전 상태를 생성하는 학습 완료 모델과, 학습 완료 모델에 조사 전 대전 상태와 복수의 제어 파라미터를 입력하여 조사 전 대전 상태와 복수의 제어 파라미터에 대응하는 복수의 추정 대전 상태를 생성하는 추정 대전 상태 생성부와, 복수의 추정 대전 상태로부터 목표 대전 상태와 가장 가까운 추정 대전 상태를 선택하는 선택부와, 선택된 추정 대전 상태에 대응하는 제어 파라미터에 기초하여 하전 입자를 제어하여 대전물에 조사하는 조사부를 구비하는 하전 입자 조사 장치가 제공된다. There is provided a charged particle emission device that can cause a charged object to quickly approach a target charged state. There is provided a charged particle emission device comprising a pre-emission state detection unit configured to detect a pre-emission charged state which is a charged state of a charged object before the charged particles are emitted, a learned model configured to receive a charged state of a charged object and a control parameter related to a control amount used for control of the charged particles to be emitted to the charged object to generate an estimated charged state which is a charged state of the charged object after the charged particles are controlled under the control parameter and emitted, an estimated charged state generation unit configured to input the pre-emission charged state and a plurality of control parameters to the learned model to generate a plurality of estimated charged states corresponding to the pre-emission charged state and the plurality of control parameters, a selection unit configured to select an estimated charged state closest to a target charged state from the plurality of estimated charged states, and an emission unit configured to control the charged particles based on the control parameters corresponding to the selected estimated charged state to emit the charged particles to the charged object.