리소그래피 장치용 기판 지지체 제조 방법, 기판 테이블, 리소그래피 장치, 디바이스 제조 방법, 사용 방법
본 발명은 기판 테이블 및 기판 테이블용 기판 지지체를 제조하는 방법에 관한 것이다. 일 구성에서는, 베이스 부재를 통해 복수의 구멍이 형성된다. 버얼 형성 부재가 베이스 부재에 결합된다. 버얼 형성 부재에는 복수의 버얼 구조가 형성된다. 각 버얼 구조는 사용 중에 지지되는 기판과 접촉하는 원위 표면을 포함한다. 각 버얼 구조는 베이스 부재를 통해 형성된 구멍들 중 적어도 하나에의 개구를 포함한다. Substrate tables and methods of manufacturing substrate supports for substr...
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| creator | TROMP SIEGFRIED ALEXANDER STEUR MICHAEL MARINUS ANNA WINKELS KOEN GERHARDUS TEN KATE NICOLAAS DE GROOT ANTONIUS FRANCISCUS JOHANNES |
| description | 본 발명은 기판 테이블 및 기판 테이블용 기판 지지체를 제조하는 방법에 관한 것이다. 일 구성에서는, 베이스 부재를 통해 복수의 구멍이 형성된다. 버얼 형성 부재가 베이스 부재에 결합된다. 버얼 형성 부재에는 복수의 버얼 구조가 형성된다. 각 버얼 구조는 사용 중에 지지되는 기판과 접촉하는 원위 표면을 포함한다. 각 버얼 구조는 베이스 부재를 통해 형성된 구멍들 중 적어도 하나에의 개구를 포함한다.
Substrate tables and methods of manufacturing substrate supports for substrate tables. In one arrangement, a plurality of holes are formed through a base member. A burl formation member is joined to the base member. A plurality of burl structures are formed in the burl formation member. Each burl structure includes a distal surface that contacts, in use, a substrate being supported. Each burl structure has an opening to at least one of the holes formed through the base member. |
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Substrate tables and methods of manufacturing substrate supports for substrate tables. In one arrangement, a plurality of holes are formed through a base member. A burl formation member is joined to the base member. A plurality of burl structures are formed in the burl formation member. Each burl structure includes a distal surface that contacts, in use, a substrate being supported. Each burl structure has an opening to at least one of the holes formed through the base member.</description><language>kor</language><subject>APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR ; BASIC ELECTRIC ELEMENTS ; CINEMATOGRAPHY ; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ; ELECTRICITY ; ELECTROGRAPHY ; HOLOGRAPHY ; MATERIALS THEREFOR ; ORIGINALS THEREFOR ; PHOTOGRAPHY ; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES ; PHYSICS ; SEMICONDUCTOR DEVICES</subject><creationdate>2022</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20220809&DB=EPODOC&CC=KR&NR=20220111274A$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,776,881,25543,76293</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20220809&DB=EPODOC&CC=KR&NR=20220111274A$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>TROMP SIEGFRIED ALEXANDER</creatorcontrib><creatorcontrib>STEUR MICHAEL MARINUS ANNA</creatorcontrib><creatorcontrib>WINKELS KOEN GERHARDUS</creatorcontrib><creatorcontrib>TEN KATE NICOLAAS</creatorcontrib><creatorcontrib>DE GROOT ANTONIUS FRANCISCUS JOHANNES</creatorcontrib><title>리소그래피 장치용 기판 지지체 제조 방법, 기판 테이블, 리소그래피 장치, 디바이스 제조 방법, 사용 방법</title><description>본 발명은 기판 테이블 및 기판 테이블용 기판 지지체를 제조하는 방법에 관한 것이다. 일 구성에서는, 베이스 부재를 통해 복수의 구멍이 형성된다. 버얼 형성 부재가 베이스 부재에 결합된다. 버얼 형성 부재에는 복수의 버얼 구조가 형성된다. 각 버얼 구조는 사용 중에 지지되는 기판과 접촉하는 원위 표면을 포함한다. 각 버얼 구조는 베이스 부재를 통해 형성된 구멍들 중 적어도 하나에의 개구를 포함한다.
Substrate tables and methods of manufacturing substrate supports for substrate tables. In one arrangement, a plurality of holes are formed through a base member. A burl formation member is joined to the base member. A plurality of burl structures are formed in the burl formation member. Each burl structure includes a distal surface that contacts, in use, a substrate being supported. Each burl structure has an opening to at least one of the holes formed through the base member.</description><subject>APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR</subject><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</subject><subject>CINEMATOGRAPHY</subject><subject>ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</subject><subject>ELECTRICITY</subject><subject>ELECTROGRAPHY</subject><subject>HOLOGRAPHY</subject><subject>MATERIALS THEREFOR</subject><subject>ORIGINALS THEREFOR</subject><subject>PHOTOGRAPHY</subject><subject>PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES</subject><subject>PHYSICS</subject><subject>SEMICONDUCTOR DEVICES</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2022</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZOh9vWzNm7aeV9t3vJ434-2UPQpv5i19s3PGm1krFV7t2PC2Z4LCm-UNILRpi8KbBXPeLNyg8HrDytebpurA5N-29ryZu-X1jik6CtjNAopPmfJ6wxSgqjddS9BNedO0BmQZhMvDwJqWmFOcyguluRmU3VxDnD10Uwvy41OLCxKTU_NSS-K9g4wMjIwMDA0NjcxNHI2JUwUAINx2RQ</recordid><startdate>20220809</startdate><enddate>20220809</enddate><creator>TROMP SIEGFRIED ALEXANDER</creator><creator>STEUR MICHAEL MARINUS ANNA</creator><creator>WINKELS KOEN GERHARDUS</creator><creator>TEN KATE NICOLAAS</creator><creator>DE GROOT ANTONIUS FRANCISCUS JOHANNES</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20220809</creationdate><title>리소그래피 장치용 기판 지지체 제조 방법, 기판 테이블, 리소그래피 장치, 디바이스 제조 방법, 사용 방법</title><author>TROMP SIEGFRIED ALEXANDER ; STEUR MICHAEL MARINUS ANNA ; WINKELS KOEN GERHARDUS ; TEN KATE NICOLAAS ; DE GROOT ANTONIUS FRANCISCUS JOHANNES</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_KR20220111274A3</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>kor</language><creationdate>2022</creationdate><topic>APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR</topic><topic>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</topic><topic>CINEMATOGRAPHY</topic><topic>ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</topic><topic>ELECTRICITY</topic><topic>ELECTROGRAPHY</topic><topic>HOLOGRAPHY</topic><topic>MATERIALS THEREFOR</topic><topic>ORIGINALS THEREFOR</topic><topic>PHOTOGRAPHY</topic><topic>PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES</topic><topic>PHYSICS</topic><topic>SEMICONDUCTOR DEVICES</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>TROMP SIEGFRIED ALEXANDER</creatorcontrib><creatorcontrib>STEUR MICHAEL MARINUS ANNA</creatorcontrib><creatorcontrib>WINKELS KOEN GERHARDUS</creatorcontrib><creatorcontrib>TEN KATE NICOLAAS</creatorcontrib><creatorcontrib>DE GROOT ANTONIUS FRANCISCUS JOHANNES</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>TROMP SIEGFRIED ALEXANDER</au><au>STEUR MICHAEL MARINUS ANNA</au><au>WINKELS KOEN GERHARDUS</au><au>TEN KATE NICOLAAS</au><au>DE GROOT ANTONIUS FRANCISCUS JOHANNES</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>리소그래피 장치용 기판 지지체 제조 방법, 기판 테이블, 리소그래피 장치, 디바이스 제조 방법, 사용 방법</title><date>2022-08-09</date><risdate>2022</risdate><abstract>본 발명은 기판 테이블 및 기판 테이블용 기판 지지체를 제조하는 방법에 관한 것이다. 일 구성에서는, 베이스 부재를 통해 복수의 구멍이 형성된다. 버얼 형성 부재가 베이스 부재에 결합된다. 버얼 형성 부재에는 복수의 버얼 구조가 형성된다. 각 버얼 구조는 사용 중에 지지되는 기판과 접촉하는 원위 표면을 포함한다. 각 버얼 구조는 베이스 부재를 통해 형성된 구멍들 중 적어도 하나에의 개구를 포함한다.
Substrate tables and methods of manufacturing substrate supports for substrate tables. In one arrangement, a plurality of holes are formed through a base member. A burl formation member is joined to the base member. A plurality of burl structures are formed in the burl formation member. Each burl structure includes a distal surface that contacts, in use, a substrate being supported. Each burl structure has an opening to at least one of the holes formed through the base member.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
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