리소그래피 장치용 기판 지지체 제조 방법, 기판 테이블, 리소그래피 장치, 디바이스 제조 방법, 사용 방법

본 발명은 기판 테이블 및 기판 테이블용 기판 지지체를 제조하는 방법에 관한 것이다. 일 구성에서는, 베이스 부재를 통해 복수의 구멍이 형성된다. 버얼 형성 부재가 베이스 부재에 결합된다. 버얼 형성 부재에는 복수의 버얼 구조가 형성된다. 각 버얼 구조는 사용 중에 지지되는 기판과 접촉하는 원위 표면을 포함한다. 각 버얼 구조는 베이스 부재를 통해 형성된 구멍들 중 적어도 하나에의 개구를 포함한다. Substrate tables and methods of manufacturing substrate supports for substr...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	TROMP SIEGFRIED ALEXANDER, STEUR MICHAEL MARINUS ANNA, WINKELS KOEN GERHARDUS, TEN KATE NICOLAAS, DE GROOT ANTONIUS FRANCISCUS JOHANNES
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은 기판 테이블 및 기판 테이블용 기판 지지체를 제조하는 방법에 관한 것이다. 일 구성에서는, 베이스 부재를 통해 복수의 구멍이 형성된다. 버얼 형성 부재가 베이스 부재에 결합된다. 버얼 형성 부재에는 복수의 버얼 구조가 형성된다. 각 버얼 구조는 사용 중에 지지되는 기판과 접촉하는 원위 표면을 포함한다. 각 버얼 구조는 베이스 부재를 통해 형성된 구멍들 중 적어도 하나에의 개구를 포함한다. Substrate tables and methods of manufacturing substrate supports for substrate tables. In one arrangement, a plurality of holes are formed through a base member. A burl formation member is joined to the base member. A plurality of burl structures are formed in the burl formation member. Each burl structure includes a distal surface that contacts, in use, a substrate being supported. Each burl structure has an opening to at least one of the holes formed through the base member.