CASSETTE FOR LOADING PANEL AND SUBSTRATE PROCESSIGN METHOD USING THE SAME

An objective of the present invention is to provide a cassette for loading a substrate having improved reliability and a substrate processing method using the same. According to an embodiment of the present invention, a cassette for loading a substrate may comprise: a first frame; a second frame; a first support part coupled to the first frame; and a second support part movably coupled to the first frame and disposed under the first support part. The first support part includes a first support fixture and a plurality of first branch portions, and the second support part includes a second support fixture and a plurality of second branch portions, and the plurality of second branch portions may move in a direction parallel to a second direction. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트는 제1 프레임, 제2 프레임, 상기 제1 프레임에 결합되는 제1 지지부, 및 상기 제1 프레임에 이동 가능하게 결합되고, 상기 제1 지지부 아래에 배치되는 제2 지지부를 포함할 수 있다. 상기 제1 지지부는 제1 지지대 및 복수의 제1 가지부들을 포함하고, 상기 제2 지지부는 제2 지지대 및 복수의 제2 가지부들을 포함하며, 상기 복수의 제2 가지부들은 상기 제2 방향과 나란한 방향으로 이동할 수 있다.