증착 챔버를 위한 가스 분배 세라믹 가열기

증착 챔버를 위한 덮개 가열기(lid heater)의 실시예들이 본원에서 제공된다. 일부 실시예들에서, 증착 챔버를 위한 덮개 가열기는, 제2 면에 대향하는 제1 면을 갖는 세라믹 가열기 바디 - 세라믹 가열기 바디는 제1 면 상의 하나 이상의 제1 가스 유입구들로부터 연장되는 제1 복수의 가스 채널들을 포함하고, 하나 이상의 제1 가스 유입구들 각각은 제2 면 상의 복수의 제1 가스 배출구들로 연장됨 -; 세라믹 가열기 바디에 매립된 가열 엘리먼트; 및 세라믹 가열기 바디에서 제2 면 근처에 매립된 RF 전극을 포함하며, 제1 복수의 가스 채널들은 RF 전극을 통해 연장된다. Embodiments of a lid heater for a deposition chamber are provided herein. In some embodiments, a lid heater for a deposition chamber includes a ceramic heater body having a first side opposite a second side, wherein the ceramic heater body includes a first plurality of gas channels extending from one or more first gas inlets on the first side, wherein each of the one or more first gas inlets extend to a plurality of first gas outlets on the second side; a heating element embedded in the ceramic heater body; and an RF electrode embedded in the ceramic heater body proximate the second side, wherein the first plurality of gas channels extend through the RF electrode.