METHDO OF CONTROLLING A SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT

Provided is a control method of a control system of a semiconductor manufacturing facility, which executes a user interface, executes a simulation using a control program after registering the control program in the control system, and determines whether the load is normal through resource and network usage measurement. When determined that the driving is normal, a driving program for each device included in the control program is installed in each of the manufacturing devices. By actually driving the manufacturing device using the driving program, the resource and network usage are re-measured to reconfirm whether the load is normal. 반도체 제조 설비의 제어 시스템의 제어 방법에 있어서, 유저 인터페이스를 실행하여, 제어 프로그램을 상기 제어 시스템에 등록한 후, 상기 제어 프로그램을 이용하여 시뮬레이션을 실행하여, 리소스 및 네트워크 사용량 측정을 통한 부하의 정상 여부를 판단한다. 정상 구동으로 판단시 상기 제어 프로그램에 포함된 장치별 구동 프로그램을 상기 제조 장치들 각각에 설치하고, 상기 구동 프로그램을 이용하여 상기 제조 장치를 실제 구동하여, 리소스 및 네트워크 사용량을 재측정하여 부하 정상 여부를 재확인 한다.