Apparatus For Inspecting Micro Via Hole

A device for inspecting a micro via hole includes: a work table on which an object to be inspected with a micro via hole is seated; a backlight unit which irradiates light toward the back of the object to be inspected; and a photographing unit which photographs the object to be inspected. The work table includes: a table holder which supports the edge of an adsorption unit; a light transmitting member through which the light of the backlight unit is transmitted; and a spacer separates the adsorption unit from the light transmitting member in order to form a closed space between the adsorption unit and the light transmitting member. In the present invention, the spacer supporting the lower surface of the adsorption unit of the work table is designed in a convex hemispherical shape so that an occurrence of shadows caused by interference with the spacer can be suppressed when the light of the backlight unit penetrates, and inspection reliability can be improved by increasing the flatness of the object to be inspected. 마이크로 비아홀 검사 장치는 마이크로 비아홀이 형성된 피검사물이 안착되는 작업 테이블, 피검사물의 후면을 향해 빛을 조사하는 백라이트유닛, 피검사물을 촬영하는 촬영유닛을 포함한다. 작업 테이블은 흡착부의 가장자리를 지지하는 테이블 홀더, 백라이트유닛의 빛이 투과되는 투광부재, 흡착부와 상기 투광부재 사이에 밀폐 공간을 형성하기 위하여 흡착부와 투광부재를 이격시키는 스페이서를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명은 작업 테이블의 흡착부 하면을 지지하는 스페이서가 볼록한 반구 형상으로 설계하여 백라이트유닛의 빛이 투과할 때 스페이서와 간섭 현상에 의한 음영 발생을 억제하고 피검사물의 평탄도를 높여 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있다.