펠리클막, 펠리클, 카본 나노 튜브 웨브 및 그 제조 방법, 카본 나노 튜브막, 그리고 카본 나노 튜브실 및 그 제조 방법

카본 나노 튜브로 이루어지고, 투과율의 면내 균일성이 우수한 펠리클막을 실현 가능하게 하는 기술을 제공한다. 펠리클막 (12) 은, 제 1 방향 (D1) 으로 각각이 신장되고, 직경 방향으로 배열된 복수의 제 1 카본 나노 튜브 (1200a) 와, 상기 제 1 방향 (D1) 과 교차하는 제 2 방향 (D2) 으로 각각이 신장되고, 직경 방향으로 배열된 복수의 제 2 카본 나노 튜브 (1200b) 를 포함한다. There is provided a technique that can achieve a pellicle film made o...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	TAKADA NAOYA, SEKI KAZUNORI, KODERA YUTAKA
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CHEMISTRY CINEMATOGRAPHY COMPOUNDS THEREOF ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY INORGANIC CHEMISTRY MATERIALS THEREFOR METALLURGY NON-METALLIC ELEMENTS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	카본 나노 튜브로 이루어지고, 투과율의 면내 균일성이 우수한 펠리클막을 실현 가능하게 하는 기술을 제공한다. 펠리클막 (12) 은, 제 1 방향 (D1) 으로 각각이 신장되고, 직경 방향으로 배열된 복수의 제 1 카본 나노 튜브 (1200a) 와, 상기 제 1 방향 (D1) 과 교차하는 제 2 방향 (D2) 으로 각각이 신장되고, 직경 방향으로 배열된 복수의 제 2 카본 나노 튜브 (1200b) 를 포함한다. There is provided a technique that can achieve a pellicle film made of carbon nanotubes and having high in-plane transmittance uniformity. The pellicle film (12) contains a plurality of first carbon nanotubes (1200a) extending in a first direction (D1) and arrayed in the radial direction, and a plurality of second carbon nanotubes (1200b) extending in a second direction (D2) intersecting the first direction (D1), and arrayed in their radial direction.