정전 척 및 처리 장치

금속 기재와, 절연층을 통해 상기 금속 기재 상에 마련된 정전 흡착용 전극과, 피처리체와 접하는 정전 흡착면을 구성하는 유전층을 가지는 존슨·라벡력형 정전 척으로서, 상기 유전층은 세라믹 용사 피막과, 상기 세라믹 용사 피막의 기공 내에 충전된 봉공 성분을 포함하고, 상기 봉공 성분은 희토류 원소를 포함하는 금속 유기산염을 포함하는 정전 척. A Johnsen-Rahbek force type electrostatic chuck including: a metal substrate; an electrode for electrostatic attraction provided on the metal substrate with an insulating layer interposed between the metal substrate and the electrode for electrostatic attraction; and a dielectric layer constituting an electrostatic attraction surface in contact with a workpiece. The dielectric layer includes a ceramic spray coating and a sealing component with which pores of the ceramic spray coating are filled, and the sealing component contains a metal organic salt containing a rare earth element.