Ring structure transfer robot correcting center misalignment between a ring structure and a base structure in a process chamber and method of correcting center misalignments between the base and the ring structure enclosing the base

플라즈마 처리장치용 링 구조물 이송장치 및 고정 베이스와 링 구조물 사이의 중심 정렬오차를 보정하는 방법을 개시한다. 처리대상 기판을 고정하고 베이스 중심을 갖는 고정 베이스를 구비하는 플라즈마 처리장치로 링 구조물을 이송하는 이송 장치는 고정 포인트를 구비하고 상기 고정 포인트와 링 중심이 정렬하도록 상기 링 구조물을 고정하는 이송 암, 고정 포인트와 베이스 중심이 정렬하도록 이송 암을 플라즈마 처리장치로 이송하여 고정 베이스를 둘러싸도록 링 구조물을 배치하는 구동기 및 링 구조물과 고정 베이스의 중심 정렬오차를 검출하고 구동기로 전송하는 오차 검출기를 포함한다. 고정 베이스와 링 구조물 사이의 중심 정렬오차를 실시간으로 이송장치로 전송하여 링 구조물의 정렬 기준점인 고정 포인트를 보정할 수 있다.