VISUAL INSPECTION APPARATUS

VISUAL INSPECTION APPARATUS

외관 검사 장치는 검사 영역을 촬영하는 촬영부, 검사 영역의 일측에 배치되고, 대상 기판이 검사 영역을 통과하도록 대상 기판을 y축 방향으로 이동시키는 로봇, 검사 영역과 중첩하는 지지 구조물 및 지지 구조물 상에 배치되고, 대상 기판이 검사 영역을 통과하는 동안 로봇에 고정되어 대상 기판의 진동을 감쇠시키는 슬라이딩부를 포함한다....

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Hauptverfasser: AHN HYEONG MIN, HWANG TAE JIN, LIM DONG WON, KIM JOON GEOL
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
Schlagworte:
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
MEASURING
PHYSICS
TESTING
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creator AHN HYEONG MIN
HWANG TAE JIN
LIM DONG WON
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