VISUAL INSPECTION APPARATUS

외관 검사 장치는 검사 영역을 촬영하는 촬영부, 검사 영역의 일측에 배치되고, 대상 기판이 검사 영역을 통과하도록 대상 기판을 y축 방향으로 이동시키는 로봇, 검사 영역과 중첩하는 지지 구조물 및 지지 구조물 상에 배치되고, 대상 기판이 검사 영역을 통과하는 동안 로봇에 고정되어 대상 기판의 진동을 감쇠시키는 슬라이딩부를 포함한다....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	AHN HYEONG MIN, HWANG TAE JIN, LIM DONG WON, KIM JOON GEOL
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	외관 검사 장치는 검사 영역을 촬영하는 촬영부, 검사 영역의 일측에 배치되고, 대상 기판이 검사 영역을 통과하도록 대상 기판을 y축 방향으로 이동시키는 로봇, 검사 영역과 중첩하는 지지 구조물 및 지지 구조물 상에 배치되고, 대상 기판이 검사 영역을 통과하는 동안 로봇에 고정되어 대상 기판의 진동을 감쇠시키는 슬라이딩부를 포함한다.