레벨 감지 기능이 있는 승화 앰플

고형물 전달 앰플은 내부 공간을 규정하는 앰플 보디를 구비한다. 내부 공간은 하나 이상의 고형물 지지대를 수용하며, 각각의 고형물 지지대는 일정 양의 승화 고형물을 지지하도록 구성된다. 고형물 전달 앰플은 또한 증기 배출 포트, 하나 이상의 레벨 센서 포트, 및 하나 이상의 레벨 센서를 구비한다. 하나 이상의 레벨 센서 각각은 하나 이상의 레벨 센서 포트를 통해서 내부 공간으로 연장된다. 하나 이상의 레벨 센서 각각은 각각의 고형물 지지대 내의 승화 고형물의 양을 측정한다. A solids delivery ampule includes an ampule body defining an interior space. The interior space contains one or more solids support, and each solids support configured to support a quantity of a sublimation solid. The solids delivery ampule also includes a vapor outlet ports, one or more level sensor ports, and one or more level sensors. Each of the one or more level sensors extending through the one or more level sensor port into the interior space. Each of the one or more level sensors measures the quantity of the sublimation solid in each solids support.