APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE

본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 처리 장치의 챔버를 개방할 때, 발생할 수 있는 사고를 방지할 수 있는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 일 실시예는, 내부에서 기판 처리가 수행되며, 개구부가 형성되어 있는 챔버; 상기 챔버의 개구부를 개폐하는 개폐구조물; 상기 챔버와 상기 개폐구조물을 체결하는 복수의 볼트; 및 상기 볼트가 상기 챔버와 상기 개폐구조물로부터 분리되었을 때 분리된 볼트를 보관하는 볼트 보관부와 상기 볼트 보관부에 상기 복수의 볼트가 전부 위치하는지 여부...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	GO SUNG JIN, LEE HEE WOON, LEE BYUNG WOO, HUR HYUNG KANG
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
Online-Zugang:	Volltext bestellen
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 처리 장치의 챔버를 개방할 때, 발생할 수 있는 사고를 방지할 수 있는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 일 실시예는, 내부에서 기판 처리가 수행되며, 개구부가 형성되어 있는 챔버; 상기 챔버의 개구부를 개폐하는 개폐구조물; 상기 챔버와 상기 개폐구조물을 체결하는 복수의 볼트; 및 상기 볼트가 상기 챔버와 상기 개폐구조물로부터 분리되었을 때 분리된 볼트를 보관하는 볼트 보관부와 상기 볼트 보관부에 상기 복수의 볼트가 전부 위치하는지 여부를 감지하는 볼트 감지부를 구비하는 볼트 보관 유닛;을 포함한다.